2004-11-05 横河電機・横河ブリッジ、8世代ガラス基板対応XYステージ開発 http://www.asahi.com/tech/nikkanko/NKK200411050003.html 『液晶やプラズマ・ディスプレー・パネルなどの製造装置の位置決め』に使うとのこと